成立時(shí)間:
注冊(cè)資本:
經(jīng)營(yíng)范圍: 常規(guī)、 高純、 廠家、 專業(yè)、 金屬硅、
| 用作鍍膜材料,濺射靶材 |
| 用于制造半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池等 |
| 用作制造單晶硅的原料,還用于電子工業(yè) |
| 是制造半導(dǎo)體硅器件的原料,用于制大功率整流器、大功率晶體管、二極管、開(kāi)關(guān)器件等 |
| 用于制造半導(dǎo)體分立器件、功率器件、集成電路和外延襯底等。 |
| 主要用于制多晶硅、單晶硅、硅鋁合金及硅鋼合金等 |
| 用于制晶體管、整流器和太陽(yáng)能電池,還用于制高硅鑄鐵、硅鋼、各種有機(jī)硅化合物等 |
| 用作制備單晶硅的原料。 |
| 三氯氫硅法將干燥的硅粉加入合成爐中,與通人的干燥氯化氫氣體在280~330℃有氯化亞銅催化劑存在下進(jìn)行氯化反應(yīng),反應(yīng)氣體經(jīng)旋風(fēng)分離除去雜質(zhì),再用氯化鈣冷凍鹽水將氣態(tài)三氯氫硅冷凝成液體,經(jīng)粗餾塔蒸餾和冷凝,除去高沸物和低沸物,再經(jīng)精餾塔蒸餾和冷凝,得到精制三氯氫硅液體。純度達(dá)到7個(gè)“9”以上、雜質(zhì)含量小于1×10-7,硼要求在0.5×10-9以下。提純后的三氯氫硅送人不銹鋼制的還原爐內(nèi),用超純氫氣作還原劑,在1050~1100℃還原成硅,并以硅芯棒為載體,沉積而得多晶硅成品。其H2+C12→2HClS+3HCl→SiHC13+H2SiHCl3+H2→Si+3HCl |
| 工業(yè)生產(chǎn)有坩堝直拉法、懸浮區(qū)熔法、中子嬗變摻雜法。坩堝直拉法拉晶前先將設(shè)備各部件、合金石英坩堝、硅多晶和籽晶進(jìn)行清潔處理。將硅多晶破碎除去石墨,經(jīng)丙酮去油后,進(jìn)行化學(xué)清洗,用無(wú)離子水洗至中性,再經(jīng)超聲波清洗,紅外干燥,配料及摻雜,加入單晶爐的合金石英坩堝中,再經(jīng)抽真空、熔化,在流通的氬氣氛下,人工引晶放肩和收尾。晶體的等徑生長(zhǎng)過(guò)程中,需根據(jù)情況適當(dāng)調(diào)節(jié)功率,使其獲得直徑均勻的產(chǎn)品,經(jīng)檢測(cè)、稱量,制得硅單晶成品。懸浮區(qū)熔法先將設(shè)備和原料清潔處理,把硅多晶切斷,磨后用丙酮去油,進(jìn)行化學(xué)清洗,用無(wú)離子水洗至中性,再經(jīng)超聲波清洗,紅外干燥,配料和摻雜,裝爐,抽真空或充氬氣。在氬氣下高頻加熱進(jìn)行區(qū)熔提純單晶。預(yù)熱、引晶、放肩、等徑、收尾等過(guò)程,由人工控制。再經(jīng)檢測(cè)、稱量,制得硅單晶成品。 |
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