產(chǎn)品名稱(chēng)：IGZO靶材常規(guī)原子比：1:1：1：4 （客戶(hù)亦可根據(jù)自身工藝制訂原子比例） 技術(shù)對(duì)接：CVD合成四元合金（高精分析天平稱(chēng)量，各種元素的配比公差低于百萬(wàn)分之一）--氮?dú)獗Ｗo(hù)下研磨制粉 –HP （熱壓）--檢驗(yàn)—打磨，拋光。 產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)
| IGZO靶材 |
| 純度（IGZO>99.***）密度6.0g/cm3 |
| 雜質(zhì)（PPM Max.） |
| 雜質(zhì)名稱(chēng) | 含量 | 雜質(zhì)名稱(chēng) | 含量 |
| Fe | 4 | Ni | 4 |
| As | 6 | Sb | 5 |
| Cd | 4 | Ca | 8 |
| Cu | 3 | Pb | 1 |
| Co | 3 | Mg | 3 |
| Cr | 2 | Na | 2 |
| Mn | 4 | Zr | 3 |
| 顏色 | 灰黑色 |
| 相對(duì)密度 | ≥*** |
產(chǎn)品指標(biāo)1）純度≥4N（99.***，基于金屬雜質(zhì)）2）相對(duì)密度大于等于***3）產(chǎn)品尺寸：300X300mm4)靶材電阻率：1X10-2—10-3Ωcm 北京環(huán)球金鑫國(guó)際科技有限公司為您長(zhǎng)期供應(yīng)：高純金屬，高純靶材，以及靶的相關(guān)產(chǎn)品。鋁靶Al，銀靶Ag，金靶Au，鈷靶Co，鉻靶Cr，銅靶Cu，鎳靶Ni，鈦靶Ti，鋅靶Zn，鎂靶Mg，鈮靶Nb，錫靶Sn，銦靶In，鐵靶Fe，鋯靶Zr，鉑靶Pt，鉭靶Ta，鍺靶Ge，硅靶Si，鎢靶W，鉿靶Hf，釓靶Gd，釤靶Sm，鏑靶Dy，鈰靶Ce，釔靶Y，鑭靶La，錸靶Re，釕靶Ru，鈀靶Pd，銠靶Rh，鉍靶Bi，鈦鋁Ti-Al，鋁硅Al-Si，鋁銅Al-Cu，鋁鈦Al-Ti，銀銅Ag-Cu，鋁鎂Al-Mg，鈷鐵硼Co-Fe-B，銅銦鎵Cu-In-Ga，鐵錳Fe-Mn，銦錫In-Sn，鈷鐵Co-Fe，鎳鈷Ni-Co，鎳鐵Ni-Fe，鎳鉻Ni-Cr，鎳鋯Ni-Zr，鎳鋁Ni-Al，鎳銅Ni-Cu，鎳釩Ni-V，鎢鈦W-Ti，鋅鋁Zn-Al，鋁鈦硼Al-Ti-B，鋁鈧Al-Sc，釩鋁鐵V-Al-Fe，銅錫Cu-Sn，鋯鋁Zr-Al，釩鋁V-Al，硼鐵B-Fe，鈮鋯Nb-Zr等。陶瓷靶材：氮化硅靶Si3N4，氮化鋁靶AIN，氮化硼靶BN，氮化鉻靶CrN，氮化鋯靶ZrN，氮化鈦靶TiN，碲化鎘靶CdTe，二硅化鉬靶MoSi2，二硫化鉬MoS2，二硼化鋯靶ZrB2，二硼化鈦靶TiB2，二氧化鋯靶ZrO2，二氧化硅靶SiO2，二氧化錳MnO2，二氧化鈰靶CeO2，二氧化鈦靶TiO2，二氧化錫靶SnO2，氟化鋇靶BaF2，氟化鈣靶CaF2，氟化鋁靶AlF3，氟化鎂靶MgF2，氟化鈰靶CeF2，硫化鎘靶CdS，硫化亞銅Cu2S，硫化鋅靶ZnS，硼靶B，硼化鉿靶HfB2，三氧化二鉻靶Cr2O3，三氧化二錳Mn2O3，三氧化鎢靶WO3，鈦酸鋇靶BaTiO3，鈦酸鑭靶LaTiO3， 鈦酸鐠靶PrTiO3，鈦酸鍶SrTiO3，石墨靶C，碳化鋯靶ZrC，碳化鉻靶Cr3C2，碳化硅靶SiC，碳化鉿靶HfC，碳化硼靶B4C，碳化鈦靶TiC，碳化鎢靶W2C，五氧化二鈮靶Nb2O5，氧化鉺靶Er2O3，氧化鈷靶CoO，氧化鉿靶HfO2，氧化鎵靶Ca2O3，氧化鈧靶Sc2O3，氧化鋁靶Al2O3，氧化鎂靶MgO，氧化鎳靶NiO，氧化釹靶Nd2O3，氧化鉭靶Ta2O5，氧化鐵靶Fe2O3，氧化銅靶CuO，氧化鋅靶ZnO，氧化釔靶Y2O3，氧化銦靶In2O3，ITO靶（In2O3+SnO2），AZO靶(ZnO+AL203)，LGZO靶，氧化鉿靶HfO2。 Mob ：15652065551Q Q ：2196612933Email：huanqiujinxin@.***：
