十一屆中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會半導體設(shè)備年會上,上海復享光學股份有限公司市場經(jīng)理陸祺峰博士指出,隨著半導體設(shè)備國產(chǎn)化逐步推進,檢測設(shè)備的國產(chǎn)化也將隨之推進。但目前國內(nèi)半導體制程相對較低,需要采用較為繁瑣的工藝來實現(xiàn),如多重曝光等。由于工藝復雜,精確檢測和時時糾偏成了確保良率的關(guān)鍵,而滿足上述需求較為有效的方式為光學檢測。
備注:數(shù)據(jù)僅供參考,不作為投資依據(jù)。
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